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株式会社 豊島製作所  マテリアルシステム事業部
株式会社豊島製作所 マテリアルズシステム事業部Phone0493-24-6774
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周期的ナノパターン表面を有するポリマー基板上への酸化物半導体薄膜の作製と電気特性評価

岩佐健1, 大賀友瑛1, 土嶺信男2, 金子智3, 1, 松田晃史1, 吉本護1

1.東工大, 2.豊島製作所, 3.神奈川県産技総研

第79回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-234A-9

2018年-秋

共同研究・論文発表