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株式会社 豊島製作所  マテリアルシステム事業部
株式会社豊島製作所 マテリアルズシステム事業部Phone0493-24-6774
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Ga2O3薄膜の室温下レーザー照射固相エピタキシーにおける膜厚や緩衝層の影響

森田公之1,中村稀星1,土嶺信男2, 金子智3, 1, 松田晃史1, 吉本護1

1.東工大, 2.豊島製作所, 3.神奈川県産技セ 第65回応用物理学会春季学術講演会, 19p-P11-14

2018年-春

共同研究・論文発表