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株式会社 豊島製作所  マテリアルシステム事業部
株式会社豊島製作所 マテリアルズシステム事業部Phone0493-24-6774
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強誘電体材料

Piezoelectric  
  Ferroelectric materials

PZTに代表される圧電・ピエゾ効果等の優れた機能を有する強誘電体薄膜は、FeRAM(強誘電体メモリ)や各種センサ、インクジェットヘッド等の分野で幅広く応用されています。当社では、強誘電体が有する特性を最大限に発揮させる高焼結密度スパッタターゲットをはじめ、MODコート材、MOCVD材料を高品質に取り揃え、提供しています。また、マルチフェロイック材料、非鉛系強誘電体材料についても幅広く提供しております。

強誘電体

Pb(Zr,Ti)O3(PZT)
(Pb,La)(Zr,Ti)O3(PLZT)
Pb(Zr,Ti,Nb)O3(PZTN)
SrBi2Ta2O9(SBT)
(K,Na)NbO3(KNN)
KNbO3
KTaO3
(Na,Bi)TiO3(NBT)
BiFeO3(BFO)

ゲート絶縁膜

HfO2
HfSiO(N)
HfO2-Al2O3
La2O3
La2O3-Al2O3

電極

Pt
Ir
IrO2
SrRuO3(SRO)
LaNiO3
TiN

*その他の材料でも作製可能。ご相談ください。

P-E Hysteresis loops of PZT and Nb-PZT
Butterfly curve of PZTN
Pb(Zr,Ti,Nb)O3 Target
BiFeO3 Target
SrBi2Ta2O9 Target