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株式会社 豊島製作所  マテリアルシステム事業部
株式会社豊島製作所 マテリアルズシステム事業部Phone0493-24-6774
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受託成膜

自社で保有する2台のスパッタリング装置で、お客様の研究・開発を強力にサポートします

当社では、お客様の研究・開発のお手伝いをできるようにと、スパッタリングによる受託成膜サービスを承っております。以下のようなことでお困りでしたら、是非一度ご相談下さい。

Material search and findings

配合物質の違い、組成比の僅かな違い、それらが膜特性を大きく左右します。求める膜質に合わせて最適な材料を購入したいが、どの材料がいいのかわからない。そんな時、豊島製作所が材料探索・材料選定をサポートします。

No sputter machine, No capacity

自社に成膜装置がない。社内に成膜装置はあるが、他部署との兼ね合いで自由に使えない。薄膜を検討するも上記のような理由で、断念もしくは難航しているケースはありませんか?そんな時、豊島製作所があなたに代わって成膜を行います。

No time, No hand

アイディアはある。直ちに実行に移したい。でも体はひとつしかない。時間が足りな。そうお嘆きではないでしょうか?そんな時、豊島製作所があなたのアイディアを形にします。

受託成膜の流れ
受託成膜の流れ

成膜装置紹介

当社所有の2台の装置は、1バッチの処理能力が高く、コストを抑えての成膜が可能な装置と、酸化物半導体膜や透明導電膜などの機能性薄膜、近年注目を集めている薄膜Li二次電池用の成膜も可能な装置となっております。お客様のご要望に合わせて、装置をお選び頂けます。

TM-3
TM-3

機能性薄膜に適した装置となっています。


  • スパッタ源
  • マグネトロンスパッタ
  • スパッタ用電源
  • DC 1KW / RF 500W
  • カソード数
  • 3カソード
  • ガス系統
  • 3ライン<Ar O2 N2>
  • 基板加熱
  • 600℃ (MAX800℃)
  • 対応基板サイズ
  • φ3" 4枚
  • 逆スパッタ
  • 可能
L560
TM-3

大型チャンバーを備え、生産性の高い装置となります。

  • スパッタ源
  • マグネトロンスパッタ
  • スパッタ用電源
  • DC 10KW / RF 1KW
  • カソード数
  • 1カソード
  • ガス系統
  • 3ライン< Ar O2 N2 >
  • 基板加熱
  • 不可
  • 対応基板サイズ
  • □50mm 10枚 / □30mm 15枚
  • 逆スパッタ
  • 不可