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株式会社 豊島製作所  マテリアルシステム事業部
株式会社豊島製作所 マテリアルズシステム事業部Phone0493-24-6774
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Room-temperature fabrication of highly oriented β-Ga2O3 thin films by excimer laser annealing

Daishi Shiojiria, Ryosuke Yamauchia, Daiji Fukudaa, Nobuo Tsuchimineb, Satoru Kanekoc, a, Akifumi Matsudaa, Mamoru Yoshimotoa

aTokyo Institute of Technology, bToshima manufacturing Co., Ltd., cKanagawa Industrial Technology Center

J. Cryst. Growth 424 38 (2015)

共同研究・論文発表