強誘電体材料 : 製品情報 : 豊島製作所マテリアルズシステム事業部

圧電・ピエゾ効果等の優れた機能を有する強誘電体薄膜はFeRAM（強誘電体メモリ）や各種センサ、インクジェットヘッド等の分野で幅広く応用されています。

当社では、強誘電体が有する特性を最大限に発揮させる高焼結密度スパッタターゲットをはじめ、MODコート材、MOCVD材料を高品質に取り揃え、提供しています。

強誘電体

• Pb (Zr,Ti) O₃ [PZT]
• (Pb,La) (Zr,Ti) O₃ [PLZT]
• Pb (Zr, Ti, Nb) O₃ [PZTN]

• Pb (Ni, Nb) O₃-PbTiO₃ [PNN-PT]
• [PNN-PZ]
• Pb (Mg, Nb) O₃-PbTiO₃ [PMN-PT]

• SrBi₂Ta₂O₉ [SBT]
• (K,Na) TaO₃
• (K,Na) NbO₃
• BiFeO₃
• Bi (Nd,La) TiOx

ゲート絶縁膜

• HfO₂
• HfSiO(N)
• HfO₂-Al₂O₃
• La₂O₃
• La₂O₃-Al₂O₃

電極

• Pt
• Ir
• IrO₂
• SrRuO₃
• LaNiO₃
• TiN

こちらに掲載されていない材料についても多種取り扱っています。お気軽にお問い合わせください。

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強誘電体薄膜の変位計測結果（バタフライ曲線）

強誘電体薄膜の変位計測結果（バタフライ曲線）

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