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β-ジケトン錯体
MOCVD材料の要求特性(反応性、気化性、熱安定性等)は、目的膜の要求特性(膜質、電気特性、機械特性等)によって異なることから、成膜プロセスを考える上で、材料選びは重要なファクターです。
当社ではあらゆる膜に対応できるよう多種類のMOCVD材料を開発、商品化して、お客様のニーズにお応えしています。
特に酸化物薄膜の作製用のMOCVD材料に力を入れており、DPM錯体をはじめとするβ-ジケトン錯体に関しては、配位子β-ジケトンの構造を変えることで、さまざまな物性を持つ材料を開発しています。
ご注文の最小単位は5gからで、ガラスアンプルでの提供になりますが、お客様のご要望に応じてステンレスシリンダー入り溶液などの出荷形態も承っています。
また、開発した材料を、明星大学様との共同研究により実際に成膜試験を行って、MOCVD材料としての適合性を調査し、学術講演会や論文誌にて発表しています。
取り扱い元素
| H | He | ||||||||||||||||
| Li | Be | B | C | N | O | F | Ne | ||||||||||
| Na | Mg | Al | Si | P | S | Cl | Ar | ||||||||||
| K | Ca | Sc | Ti | V | Cr | Mn | Fe | Co | Ni | Cu | Zn | Ga | Ge | As | Se | Br | Kr |
| Rb | Sr | Y | Zr | Nb | Mo | Tc | Ru | Rh | Pd | Ag | Cd | In | Sn | Sb | Te | I | Xe |
| Cs | Ba | Ln | Hf | Ta | W | Re | Os | Ir | Pt | Au | Hg | Tl | Pb | Bi | Po | At | Rn |
| Fr | Ra | ||||||||||||||||
| La | Ce | Pr | Nd | Pm | Sm | Eu | Gd | Tb | Dy | Ho | Er | Tm | Yb | Lu |
Zn錯体の融点と溶解性
| Materials | m.p.(°C) | Solubility | ||
|---|---|---|---|---|
| Toluene Butyl | Acetate | THF | ||
| Zn(TMOD)2 | 48 | S | A | S |
| Zn(DPM)2 | 141 | A | B | A |
| Zn(IBPM)2 | <20 | A | A | A |
| Zn(DIBM)2 | 80 | S | A | S |
| Zn(acac)2 | 138 | G | G | G |
S : >1mol/l A : 1-0.5mol/l B : 0.5-0.33mol/l C : 0.33-0.25mol/l D : 0.25-0.2mol/l
E : 0.2-0.15mol/l F : 0.15-0.1mol/l G : <0.1mol/l
構造が少し異なるだけで融点・溶解性が大きく変化
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原料温度依存性
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