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株式会社 豊島製作所  マテリアルシステム事業部
株式会社豊島製作所 マテリアルズシステム事業部Phone0493-24-6774
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よくあるご質問

スパッタリングターゲットについて知りたいのですが。
薄膜作成方法のうち、乾式(真空)成膜法の1つにスパッタ(スパッタリング)という方法があります。これは大面積を均一に成膜できる方法として、研究開発分野だけでなく、工場の大量生産においても、薄膜作製の主流となっており、ここで使用する成膜材料をスパッタリングターゲットといいます。→さらに詳しく
カタログに載ってない組成、形状のスパッタリングターゲット材を作ってもらいたいのですが。
当社は、まだ世に出ていない最先端材料や研究材料の開発製造に長年のノウハウを持っています。まずはお問い合わせフォーム、電話、FAXでご連絡ください。お客様の要望に沿った組成、形状での見積をさせていただきます。新規材料や、製造が難しいスパッタリングターゲット材についても、当社技術者と打ち合わせを行い、できる限りの対応をさせていただきます。当社カタログをお持ちでないお客様はお問い合わせいただければ送付します。
量産を念頭においているのですが、対応してもらえますか?
研究材料を主とした工場とは別棟で量産向け工場があり、量産のための生産体制、品質管理体制を整えています。スパッタリングターゲット材は月産数百枚まで対応可能です。基礎研究の段階からお付き合いさせていただき、量産前試作から量産まで手がけた実績もあります。
小さなペレット1つだけでもお願いできますか?
当社製品は、材料探索・研究開発用途に広く使用されていることもあり、小径サイズの注文も多数いただいています。ペレット1つはもちろんのこと、組成を細かく変更して数種類の製造、というオーダーにも対応します。
分析のみ依頼したいのですが。
当社の環境分析センターは計量証明事業所として認定されており、適正な計量管理の下、厳しい品質管理体制で分析を行っています。ICP、XRD、XRF、粒度、光学顕微鏡、SEM、TG-DTA、ガスの各種分析が可能です。
ボンディングだけの依頼はできますか?
お客様のスパッタリングターゲット材・バッキングプレートを使い、ボンディングのみの注文も承っています。使用済みスパッタリングターゲット材をはがして回収することも可能です。また、バッキングプレートのみの製作も可能です。
成膜を依頼できますか?
ターゲットサイズφ3インチの2台のスパッタリング装置があり、お客様の要望に応じて受託成膜も行います。両装置ともDC/RF電源と対応しています。