PZTに代表される圧電・ピエゾ効果等の優れた機能を有する強誘電体薄膜は、FeRAM（強誘電体メモリ）や各種センサ、インクジェットヘッド等の分野で幅広く応用されています。当社では、強誘電体が有する特性を最大限に発揮させる高焼結密度のスパッタターゲットを提供しています。また、マルチフェロイック材料、非鉛系強誘電体材料についても幅広く提供しております。

強誘電体

Pb(Zr,Ti)O₃(PZT) (Pb,La)(Zr,Ti)O₃(PLZT) Pb(Zr,Ti,Nb)O₃(PZTN)

SrBi₂Ta₂O₉(SBT) (K,Na)NbO₃(KNN) KNbO₃

KTaO₃ (Na,Bi)TiO₃(NBT) BiFeO₃(BFO)

ゲート絶縁膜

HfO₂ HfSiO(N) HfO₂-Al₂O₃ La₂O₃ La₂O₃-Al₂O₂

電極

Pt Ir IrO₂ SrRuO₃(SRO) LaNiO₃ TiN

※その他の材料でも作製可能です。ご相談ください。