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先進機能性材料

先進機能性材料

超高密度SROターゲット

従来、当社製SrRuO3は密度60%と低く、また大型サイズは歩留まりが極めて悪いため高コストとなり生産用途には不向きな品質でした。しかしこのたび、某企業との協力によりSrRuO3の高密度化に成功し、最大φ12″の大型化も実現しました。下記に添付しているXRD回析データからは、単相構造となっていることが確認できます。

実製品(φ12″)画像

<参考データ>
純度:3N 以上
密度:90% 以上
抵抗値:1.0E-3 Ω・cm 以下
最大実績サイズ:φ12″
※φ12″以上のサイズについては要相談

XRD回析データ

※代理店経由での販売となります