導電性Nb2Ox : 技術情報 : 豊島製作所マテリアルズシステム事業部

ディスプレイのAR（Anti-Reflection）用材料として広く知られているNb₂O₅は、一般的にはメタルNbのリアクティブスパッタによる成膜方法が採られています。

この場合、O₂を多く流す必要があり、生産性の問題から量産には課題を残しています。また、Nb₂O₅酸化物ターゲットを用いた場合、ターゲットも高価であり、成膜レートも遅いため、一般的に量産では使用されていません。

当社の導電性Nb₂Oxは、成膜中に僅かなO₂を加えることで、これらの課題を全てクリアしつつ、良好なNb₂O₅薄膜を得ることができます。