酸化亜鉛(ZnO)に注目が集まっています。
薄膜では可視光領域において透明であり、特定のドーパントを添加することによって導電性を与えることができるため、ITOに代わる透明導電膜として期待されています。
また、近年においては急速的な成長を遂げている太陽電池分野においても、CIGSなど薄膜型太陽電池のバッファ層として重要な役割を担っています。
このような量産を前提とした業界では、速い成膜レートが要求されますが、ZnOは導電性が無いため、レートは決して速くありません。
その課題を解決するため、当社は高速成膜が可能なDCスパッタに対応した導電性ZnOターゲットを開発しました。ターゲットは導電性でありながら、薄膜は通常のZnO膜と同等の膜を成膜できます。
