強誘電体材料

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PZTに代表される圧電・ピエゾ効果等の優れた機能を有する強誘電体薄膜は、FeRAM(強誘電体メモリ)や各種センサ、インクジェットヘッド等の分野で幅広く応用されています。当社では、強誘電体が有する特性を最大限に発揮させる高焼結密度スパッタターゲットをはじめ、MODコート材、MOCVD材料を高品質に取り揃え、提供しています。また、マルチフェロイック材料、非鉛系強誘電体材料についても幅広く提供しております。

強誘電体

ゲート絶縁膜

電極

*その他の材料でも作製可能。ご相談ください。

P-E Hysteresis loops of PZT and Nb-PZT
Butterfly curve of PZTN
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Pb(Zr,Ti,Nb)O3 Target
BiFeO3 Target
SrBi2Ta2O9 Target
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先進機能性材料