受託粉末コーティング(スパッタリング・表面改質)

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粉末スパッタとは、一般的に、板状の試料、大きいバルクなどに対してのみ行われているスパッタリングを微粒子に対し行うために特化した技術です。多角バレル中に基材となる粉末を投入し、回転させながら成膜を行うことで、均一的・効率的に粉末にコーティングを行います。粉末コーティングは、触媒、化粧品原料、装飾用、セラミックス原料など、さまざまな用途に使用されていますが、近年、リチウムイオン電池材料の作製技術として脚光を浴びています。豊島製作所では、富山大学 阿部教授との共同研究を経て、粉末コーティング(スパッタ・表面改質)の試作成膜を開始しました。

バレルスパッタ装置
多角バレルプラズマ表面改質法
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Li3PO4粉末にLi3BO3成膜したサンプル

粒径30μmのLi3PO4粉末に、Li3BO3を約10~40nm成膜したサンプルのTEM、EDS像です。

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Li3PO4粉末を表面窒化し、LiPON作製したサンプル

粒径30μmのLi3PO4粉末を表面窒化したサンプルです。180分で1μmの窒化層が形成されています。

■処理時間における外観の変化
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