受託成膜

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自社で保有するスパッタリング装置で、お客様の研究・開発を強力にサポートします

当社では、お客様の研究・開発のお手伝いをできるようにと、スパッタリングによる受託成膜サービスを承っております。以下のようなことでお困りでしたら、是非一度ご相談下さい。

Material search and findings

配合物質の違い、組成比の僅かな違い、それらが膜特性を大きく左右します。求める膜質に合わせて最適な材料を購入したいが、どの材料がいいのかわからない。そんな時、豊島製作所が材料探索・材料選定をサポートします。

No sputter machine, No capacity

自社に成膜装置がない。社内に成膜装置はあるが、他部署との兼ね合いで自由に使えない。薄膜を検討するも上記のような理由で、断念もしくは難航しているケースはありませんか?そんな時、豊島製作所があなたに代わって成膜を行います。

No time, No hand

受託成膜の流れ
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アイディアはある。直ちに実行に移したい。でも体はひとつしかない。時間が足りない。そうお嘆きではないでしょうか?そんな時、豊島製作所があなたのアイディアを形にします。

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成膜装置紹介

当社所有の2台の装置は、1バッチの処理能力が高く、コストを抑えての成膜が可能な装置と、酸化物半導体膜や透明導電膜などの機能性薄膜、近年注目を集めている薄膜Li二次電池用の成膜も可能な装置となっております。お客様のご要望に合わせて、装置をお選び頂けます。

TM-3

L560

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  • スパッタ源

      マグネトロンスパッタ

  • スパッタ用電源

       DC / RF

  • カソード数

       3カソード

  • ガス系統

       3ライン<Ar O2 N2>

  • ステージ加熱

       MAX600℃

  • 対応基板サイズ

       □30 8枚など
       ※□30以上は要相談

  • 逆スパッタ

       可

Material search and findings

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  • スパッタ源

      マグネトロンスパッタ

  • スパッタ用電源

       RF

  • カソード数

       1カソード

  • ガス系統

       3ライン<Ar O2 N2>

  • ステージ加熱

       不可

  • 対応基板サイズ

       □30mm 14枚など

       □50mm 7枚など
       ※他は要相談

  • 逆スパッタ

       不可

機能性薄膜に適した装置となっています。

大型チャンバーを備え、生産性の高い装置となります。

受託サービス